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ナノ・マイクロシステム工学
シリコンで目に見えないほど小さなセンサや機械をつくる研究室。

About研究室について
小さな機械でナノの世界を測る。
ナノ・マイクロシステム工学研究室は、
加速度センサや
MEMSの
小さな
用語の説明
- MEMS
- 半導体の
微細加工技術で つくる、 センサや 可動部を もつ極小の 機械 (微小電気機械システム) - アクチュエータ
- 電気などの
エネルギーを 使って、 ものを 動かす装置 - ナノギャップ
- ナノメートル
(10億分の 1メートル) 単位の、 ごく 狭い すき間
News研究室のお知らせ
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シリコンの
※イメージ画像センサとアクチュエータの開発
静電容量型の
※イメージ画像シリコンの微細加工技術
シリコンを
※イメージ画像小さな機械でナノの世界を測る
MEMSの
※イメージ画像小さな機械を長く安定して動かす
MEMSは
Members教員
- 教授土屋 智由
- 准教授廣谷 潤
- 助教霜降 真希
Voices先輩の声
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先輩の
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画像について
トップと
- トップの
画像:「A MicroVision MEMS mirror」 S2upidOnReddit/CC BY-SA 4.0(トリミング) - センサと
アクチュエータの 開発:「FreescaleSemiconductor 3-Axis-MEMS-Accelerometer MMA8452Q 10953-01b」 SparkFun/CC BY 2.0(トリミング) - シリコンの
微細加工 技術:「Photolithography lab in the LCN cleanroom」 University College London Faculty of Mathematical & Physical Sciences/CC BY 2.0(トリミング) - 小さな
機械で ナノの 世界を 測る :「AFM (used) cantilever in Scanning Electron Microscope, magnification 3000x」 AFM_(used)_cantilever_in_Scanning_Electron_Microscope,_magnification_3000x.GIF: SecretDisc derivative work: Materialscientist (talk)/CC BY-SA 3.0(トリミング) - 小さな
機械を 長く 安定して 動かす:「ИХ термостабилизированный электромеханический фильтр, московский НИИ радиосвязи 1990 (05)」 155LA3/CC BY 4.0(トリミング) - 関連する
研究室 (マイクロ加工システム) :「Danos Cristalográficos 5」 Hebert Folli/CC BY-SA 4.0(トリミング) - 関連する
研究室 (固体力学) :「Transmission electron microscope (Morgagni 268D) 2pl」 Pleple2000/CC BY-SA 3.0(トリミング) - 関連する
研究室 (機械機能要素工学) :「Ball-bearing-numbered」 Niabot/CC BY-SA 3.0(トリミング) - 関連する
研究室 (熱物理工学) :「3D Turbulence Infinitesimal Fluid Element Stretching Orientation Map」 Terry Brannigan/CC BY 4.0(トリミング)
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