谷口研究室

About研究室について

ナノの立体形状をつくり、写し取る。

谷口研究室は、ナノメートルサイズの超微細加工技術を研究しています。
特に、ナノオーダーでの三次元形状をつくる技術に力を入れています。
三次元のナノスタンプ（モールド）を作る技術と、そのスタンプを押して転写するナノインプリントの研究を行っています。
作製には電子ビーム技術やイオンビーム技術を使い、できた金型を樹脂などへ複製しています。

Research研究テーマ

ナノテクノロジーは高度情報化社会を支える基盤技術です。この研究室は、特に次世代技術として期待される三次元形状の作製に重点を置き、三次元のナノモールドの作製と、それを押して転写するナノインプリント技術、その応用を研究しています。

※イメージ画像

三次元ナノ構造の作製技術↗

加速電圧を変える電子ビーム露光で、最高5nmの深さ分解能を達成しています。100nm以下で深さを変えた三次元ナノモールドを作り、そのパターンを転写して複製できました。

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ロールナノインプリントの研究↗

モールドをロール状にしたロールナノインプリントを研究しています。レプリカモールドを使った転写や高速転写、モールドの離型性の寿命評価などを行っています。

Voices先輩の声

評価・クチコミは、在籍している（していた）学生個人の経験に基づくもので、研究室の公式見解ではありません。クチコミの有無や件数は、研究室の評価を表すものではありません。

インタビューに協力いただいた学生に、内容にかかわらず謝礼（1,000円分のギフト）をお渡しすることがあります。