ナノ構造制御

About研究室について

極微小の世界と、未来の新材料を探る。

ナノ構造制御研究室は、ナノエレクトロニクスや半導体プロセス、ゲート絶縁膜の技術を研究しています。
研究内容のページでは、SiO2班が「夢。冒険。‘極微小’の世界へようこそ！」、SiC班が「エネルギー問題に立ち向かう‘未来’の新材料」と紹介されています。
教員の研究者情報には、研究キーワードとしてSiC、Si、SiO2、信頼性が挙げられています。
研究室のサイトでは「山部・蓮沼研究室」の名前でも紹介されていますが、サイトの記載は2017年ごろのものです。

Members教員

ナノ構造制御研究室のメンバーは、教員、博士後期課程・博士前期課程・学類の学生、研究生で構成されています。2017年度時点

• 准教授蓮沼 隆

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