走査電子顕微鏡

About研究室について

SEMの性能向上や、新たなアプリケーションの創出。

日立ハイテクアドバンストSEMテクノロジ研究室は、走査電子顕微鏡（SEM）の基盤技術を、日立ハイテクとの産学連携で研究しています。
SEMは、ナノメートルスケールでの微細構造観察ができ、試料の扱いも容易で、ナノテクノロジーやバイオテクノロジーをはじめ幅広い分野で使われています。
電子銃や信号検出器といったSEMの基盤技術について、より難易度の高い課題に取り組み、高分解能・高精度・高スループットを実現する技術開発を目指しています。
日立ハイテクと筑波大学の産学連携で得た成果を製品改良に生かし、新しいSEMやその応用製品の開発に取り組むとしています。

Research研究テーマ

SEMの性能向上や新たなアプリケーションの創出を目指し、電子銃や信号検出器などSEMの基盤技術の開発に取り組んでいます。プロジェクト研究棟には、日立ハイテク製の卓上型走査電子顕微鏡TM4000Plusと超高分解能ショットキー走査電子顕微鏡SU7000が設置され、オープンファシリティ装置として様々な分野の研究室に利用されています。

※イメージ画像

SEMの基盤技術の開発↗

電子銃や信号検出器などSEMの基盤技術について、より難易度の高い課題に取り組み、高分解能・高精度・高スループットを実現する技術の開発を目指しています。

Voices先輩の声

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