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軟X線極微細加工
軟X線の光でガラスなどを直接微細加工する研究室。

About研究室について
光でガラスを、彫る。
牧村研究室は、
特に
この
用語の説明
- 軟X線
- 波長が
10 nm前後の 光の ひとつ。 この 研究室では、 材料を 直接加工するのに 使う - シリカガラス
- 組成が
SiO2の ガラス。 合成石英ガラスとも 呼ばれる - PDMS
- ポリジメチルシロキサンの
略称。 この 研究室が 微細に 加工できる ことを 示している 材料の ひとつ
Research研究テーマ
光と
Members教員
- 准教授牧村 哲也
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画像について
トップと
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画像:「Extreme ultraviolet lithography tool」 Lawrence Livermore National Laboratory/パブリックドメイン (トリミング) - 軟X線に
よる 材料の 直接加工:「TXPES beamline at SESAME」 Erkcan/CC BY-SA 4.0(トリミング) - 関連する
研究室 (光物性理論研究室) :「Laser optique」 作者不詳/パブリックドメイン (トリミング) - 関連する
研究室 (走査電子顕微鏡) :「Scientist during work with Scanning Electron Microscope」 Gabriela P./CC BY 4.0(トリミング) - 関連する
研究室 (X線結像 光学) :「Lab based Soft X-ray Microscope- SiriusXT」 Ananya Vatsa/CC BY-SA 4.0(トリミング) - 関連する
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