集積電子デバイス研究室

About研究室について

ナノワイヤを育てて、電子と光をあやつる

集積電子デバイス研究室は、有機金属気相成長（MOVPE）法によるIII-V族化合物半導体の選択成長やナノワイヤ成長を研究しています。
新しい材料を育てるところから、立体的な加工のプロセス技術、デバイスへの応用、集積の技術までを一続きに扱います。
電子や光のふるまいを半導体ナノワイヤのヘテロ構造で制御し、高性能で消費電力の小さいスイッチ回路や、高機能な光デバイスの集積化を目指しています。
量子集積エレクトロニクス研究センターの研究室のひとつです。

Research研究テーマ

有機金属気相成長（MOVPE）法によるIII-V族化合物半導体の選択成長とナノワイヤ成長を軸に、新材料の結晶成長から立体加工プロセス、デバイス応用、集積技術までを総合的に研究しています。電子や光のふるまいをナノワイヤのヘテロ構造で制御し、集積化した応用につなげることを目指します。

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ナノワイヤの結晶成長↗

有機金属気相成長（MOVPE）法を使い、III-V族化合物半導体を狙った場所にだけ育てる選択成長と、ナノワイヤの成長に取り組んでいます。新しい材料をつくるところが研究の出発点です。

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ナノワイヤデバイスプロセス応用↗

育てたナノワイヤを立体的に加工するプロセス技術と、そのデバイスへの応用を研究しています。高性能で消費電力の小さいスイッチ回路や、高機能な光デバイスにつなげることを目指します。

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次世代量子集積システム・フォトニクス↗

電子や光のふるまいを半導体ナノワイヤのヘテロ構造で制御し、集積化した応用をつくります。次世代のフォトニクスナノ光源やディスプレイ光源、立体的な量子集積回路を手がけています。

Voices先輩の声

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