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プラズマ理工学(山形 幸彦)
レーザーでプラズマを計測・制御する研究室。

About研究室について
計測と制御で、プラズマを使いこなす。
山形 幸彦准教授の
デバイスの
この
研究者情報の
用語の説明
- プラズマ
- 気体の
原子や 分子が 電気を 帯びた 粒子に 分かれ、 自由に 動いている 状態。 放電や レーザーで 作られる - レーザーアブレーション
- レーザー光を
物質に 当てて 表面の 物質を 飛ばす方法。 飛び出した 物質が プラズマに なる - EUV
- Extreme Ultraviolet
(極端紫外)の 略。 波長が 非常に 短く、 半導体製造の 光源に 使われる
Research研究テーマ
時間的・
※イメージ画像EUV励起の水素プラズマの計測と制御
レーザーで
※イメージ画像ポーラスSiO2薄膜をレーザーで作る
深紫外レーザーを
※イメージ画像レーザーアブレーションプラズマの粒子計測
レーザーアブレーションで
※イメージ画像鮮度保持のための電界環境づくり
農水畜産物の
Members教員
- 准教授山形 幸彦
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