高橋・道畑研究室

About研究室について

“光”でつくる、“光”でみる。

高橋・道畑研究室は、光を使った超精密なナノ加工と計測の技術を研究しています。
製造の現場で使われてきた光に加え、エバネッセント光や近接場光のように狭い範囲に局在する光も使い、次世代のものづくりを支える光の可能性を探っています。
回折限界を超える光の基礎研究から、産業界のニーズにこたえる社会実装の研究まで、幅広く取り組んでいます。
新しいマイクロデバイスの生産のしくみ「セルインマイクロファクトリ」も提唱しています。

Research研究テーマ

次世代の超精密ものづくりを実現するため、光エネルギを使った新しいマイクロ・ナノの加工・計測・生産技術を研究しています。レーザーを使ったナノ加工やナノインプロセス計測の技術とともに、新しい生産システムの考え方であるセルインマイクロファクトリの確立を目指しています。

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回折限界を超えるセンシング↗

狭い範囲に局在する光（局在フォトン）を高い精度で制御し、光の限界とされてきた回折限界を超えるセンシングを研究しています。

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加工中の表面をナノの精度で測る↗

超精密に加工した表面の状態を、局在フォトンを使って加工の最中に測る、ナノインプロセス計測の技術を開発しています。

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半導体のナノ欠陥を光で見つける↗

半導体の製造で生じるナノの大きさの欠陥を、光を使って高い感度と解像度で計測する方法を開発しています。

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光コムを使った高精度センサ↗

光コムという光源を使った、次世代の高精度センサを開発しています。光コムを使った高精度な三次元の計測にも取り組んでいます。

Voices先輩の声

所属していた学生の回答をもとにまとめています。評価・クチコミは学生個人の経験に基づくもので、研究室の公式見解ではありません。

インタビューに協力いただいた学生に、内容にかかわらず謝礼（1,000円分のギフト）をお渡しすることがあります。