扫描电子显微镜研究室

About关于研究室

提升SEM性能，并创造新的应用。

日立高新技术先进SEM技术研究室与日立高新技术公司开展产学合作，研究扫描电子显微镜（SEM）的基础技术。
SEM能够在纳米尺度上观察微细结构，且试样易于处理，广泛应用于纳米技术、生物技术等众多领域。
针对电子枪和信号检测器等SEM基础技术，该研究室致力于攻克难度更高的课题，目标是开发出可实现高分辨率、高精度、高通量的技术。
该研究室表示，将把日立高新技术公司与筑波大学产学合作所取得的成果应用于产品改良，致力于开发新型SEM及其应用产品。

Research研究课题

该研究室以提升SEM性能和创造新应用为目标，致力于开发电子枪、信号检测器等SEM基础技术。项目研究楼内设有日立高新技术公司制造的台式扫描电子显微镜TM4000Plus和超高分辨率肖特基扫描电子显微镜SU7000，作为开放设施设备供各领域的研究室使用。

※示意图

SEM基础技术的开发↗

针对电子枪和信号检测器等SEM基础技术，该研究室致力于攻克难度更高的课题，目标是开发出可实现高分辨率、高精度、高通量的技术。

Voices学长学姐的评价

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