高橋・道畑研究室

About关于研究室

以光制造，以光观测。

高橋・道畑研究室研究利用光的超精密纳米加工与测量技术。
除了制造现场一直在使用的光之外，还利用倏逝光、近场光等局域在狭小范围内的光，探索支撑下一代制造的光的可能性。
从突破衍射极限的光的基础研究，到回应产业界需求的社会应用落地研究，该研究室开展着广泛的工作。
同时还提出了新型微器件生产方式“Cell-in-Microfactory（单元式微工厂）”。

Research研究课题

为实现下一代超精密制造，研究利用光能的新型微米・纳米加工、测量和生产技术。在推进激光纳米加工和纳米在线测量技术的同时，以确立新的生产系统理念——单元式微工厂（Cell-in-Microfactory）为目标。

※示意图

突破衍射极限的传感↗

高精度控制局域在狭小范围内的光（局域光子），研究突破一直被视为光的极限的衍射极限的传感技术。

※示意图

以纳米精度测量加工中的表面↗

开发纳米在线测量技术：利用局域光子，在加工进行的过程中测量超精密加工表面的状态。

※示意图

用光发现半导体的纳米缺陷↗

开发利用光以高灵敏度和高分辨率测量半导体制造中产生的纳米尺寸缺陷的方法。

※示意图

使用光梳的高精度传感器↗

开发使用光梳这种光源的下一代高精度传感器。同时也致力于使用光梳的高精度三维测量。

Voices学长学姐的评价

根据所属学生的回答整理。评价基于学生个人经历，不代表研究室官方观点。

对于接受采访的学生，无论内容如何，我们可能会赠送谢礼（价值1,000日元的礼品）。