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电离反应工学研究室
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该研究室利用等离子体和激光，开发工艺技术与先进器件。
About关于研究室
利用等离子体与激光开发工艺和器件。
电离反应工学研究室
利用电离反应的等离子体工艺，
该研究室开展工艺的开发与优化、
研究分为山形副教授的放电／激光组和堤井副教授的电子材料EMD组。
术语说明
- 等离子体
- 对气体施加电能，
使其分离为电子和离子的状态。 - 拉曼散射法
- 向物质照射激光，
根据散射光来研究温度和应变等的方法。 - 碳纳米墙
- 由多层石墨烯如墙壁般垂直排列而成、
表面尖锐的碳结构体。
Research研究课题
电离反应工学研究室推进利用等离子体和激光的工艺技术与先进器件的开发。
※示意图工作中半导体的温度・应变测量
氮化物半导体器件会因结区的温度上升和应变而导致效率下降、
※示意图激光制备纳米材料的可视化
在脉冲激光沉积法中，
※示意图高性能电子发射体的开发
采用场发射型电子发射体的真
※示意图高灵敏度气体传感器的开发
目前需要能够检测氢气泄漏的高灵敏度、
Members教师
电离反应工学研究室的成员由教师以及
- 副教授山形 幸彦
- 副教授堤井 君元
Voices学长学姐的评价
评价基于在读
对于接受采访的学生，
学长学姐的评价
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学长学姐的评价会回答这些问题
- 这个研究室的推荐点是什么?
- 进入后才知道的事情是什么?
- 氛围和老师的性格如何?
- 推荐给什么样的学生?
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电力变换系统工学研究室工学部 融合基础工学科我们的生活和产业正走向高度信息化、本页信息由LabLog运营团队根据研究室的公开信息和采访整理。
关于图片
顶部和研究课题的图片为示意图，
- 顶部图片：《Minimal Fab exhibit at Tsukuba Science Square 5》 Syced／CC0（裁剪）
- 工作中半导体的温度・应变测量：《COVID-19 rapid test device (2020)》 Secretaria Especial de Saúde Indígena (Sesai)／CC BY-SA 2.0（裁剪）
- 激光制备纳米材料的可视化：《Selenium NPs》 Muderkind／CC BY 4.0（裁剪）
- 高性能电子发射体的开发：《Cathode surface 1》 Pavel.Somov／CC BY 4.0（裁剪）
- 高灵敏度气体传感器的开发：《CMOS image sensor chip-scale package oblique》 Phiarc／CC BY-SA 4.0（裁剪）
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