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量子ビーム物質科学研究分野[産業科学研究所]
量子ビームが物質に起こす化学反応を解き明かす研究室。

About研究室について
量子ビームと物質の化学反応を解き明かす。
量子ビーム物質科学研究分野
量子ビームに
得られた
半導体の
用語の説明
- 量子ビーム
- 電子線、
極端紫外光、 レーザー、 放射光、 X線、 ガンマ線、 イオンビームなどの 総称。 物質に 当てて 化学反応を 起こさせる - リソグラフィ
- 半導体産業を
支える 超微細加工技術 - レジスト
- リソグラフィ工程で
使う 感光性材料。 その 性能が 半導体の 回路の 精度を 決める - 超臨界状態
- 水では
温度374℃以上、 圧力22.1MPa以上で 現れる 状態。 圧力で 密度が 大きく 変わる
Research研究テーマ
電離放射線領域に
※イメージ画像半導体大量生産のナノ化学
極端紫外光
※イメージ画像凝縮相の極端紫外光化学
極端紫外光領域の
※イメージ画像極限状態でのビーム誘起反応
高温高圧や
※イメージ画像ナノ粒子・コロイドの放射線化学
ナノ粒子や
Members教員
古澤研究室の
- 教授古澤 孝弘
- 准教授室屋 裕佐
- 助教岡本 一将
- 助教金 羽晴
- 特任教授井谷 俊郎
- 特任准教授Julius Joseph Sudlay Santillan
- 特任准教授野村 英一
- 特任助教伊藤 裕子
Voices先輩の声
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先輩の
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画像について
トップと
- トップの
画像:「Lithographie EUV」 JB Waldner/CC BY-SA 3.0(トリミング) - 半導体大量生産の
ナノ化学:「A semiconductor wafer being removed from processing equipment」 YouTube — Purdue Engineering/CC BY 4.0(トリミング) - 凝縮相の
極端紫外光化学:「Skylab Extreme Ultraviolet (XUV) Spectrograph (7016160)」 NASA/MSFC/パブリックドメイン (トリミング) - 極限状態での
ビーム誘起反応:「Supercritical Fluids Reactor」 RHanush/CC BY-SA 4.0(トリミング) - ナノ粒子・
コロイドの 放射線化学:「Gold nanoparticles as indicators」 Valeg96/CC BY-SA 4.0(トリミング) - 関連する
研究室 (先端物性工学領域) :「MIREA Laboratory Industry 4.0. Digital robotic manufacturing 6」 Нечаева Лилия Александровна/CC BY-SA 4.0(トリミング) - 関連する
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研究室 (物理有機化学領域) :「Sumanene-3D-balls」 Jynto (talk)/CC0(トリミング) - 関連する
研究室 (精密工学研究センター (ナノ製造科学領域)) :「Plasma Rapid Oxidation Technique for Extending Component Tenabil (KSC-20221102-PH-KLS01 0018)」 Kim Shiflett/パブリックドメイン (トリミング)
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