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田尻 武義 研究室
窒化物系半導体の結晶づくりからデバイス試作まで手がける研究室。

About研究室について
窒化物系半導体で、電子と光のデバイスを作る。
田尻研究室は、
結晶を
卒業研究の
ただし卒研配属には
用語の説明
- 窒化物系半導体
- 窒素を
含む半導体材料。 GaN、 AlGaN、 InGaNなどが 当たる。 - 有機金属気相成長
- 原料ガスの
中に 置いた 加熱基板の 上に、 熱分解した 原料の 原子を 付着させて 結晶を 作る 方法。 - エピタキシャル成長
- 基板の
結晶面の 向きや 格子定数と 一定の 関係を 保って、 原子が 並んでいく 結晶 成長。
Research研究テーマ
窒化物系半導体を
※イメージ画像窒化物系半導体の結晶成長
有機金属気相成長
※イメージ画像半導体デバイスの試作と評価
半導体プロセス装置で
Members教員
田尻研究室の
- 准教授田尻 武義
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