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三田研究室
半導体の微細加工で、電気と機械が溶け合う素子をつくる研究室。

About研究室について
自然の機能に学ぶ、集積化マイクロシステム。
三田研究室は、
電子工学の
武田先端知ビルの
MEMSと
用語の説明
- MEMS
- 機械の
部品と 電子回路を、 半導体の 微細加工で 小さな チップの 上に つくる 技術 - モノリシック集積
- 別々に
つくっていた 部品を、 1枚の チップの 上に まとめて つくりこむこと - フォトダイオード
- 光が
当たると 電気が 流れる 半導体の 素子。 光を 電気の 信号に 変えるのに 使う
News研究室のお知らせ
学部の
学生が、 工学部長賞 (研究)と 優秀卒業論文賞を 受賞 修士課程の
学生が、 優秀修士論文賞を 受賞 センサ・マイクロマシンと
応用システムシンポジウムの フォトコンテストで 最優秀賞 博士課程の
学生が、 電気学会 優秀論文発表賞を 受賞 修士課程の
学生が、 工学系研究科長賞と 電気系工学専攻長賞を 受賞
Research研究テーマ
電気と
※イメージ画像MEMS-LSIモノリシック集積
標準の
※イメージ画像微細な側壁を壊さずに測る
深い
※イメージ画像ディープトレンチ垂直フォトダイオード
深い
※イメージ画像マイクロラッチ機構
消費電力が
Members教員
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インタビューに
4段階で、
どんな
この
浅野キャンパスの
入ってみて
雰囲気や
卒業後の
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画像について
トップと
- トップの
画像:「MEMS Microcantilever in Resonance」 Patrick C. Fletcher (talk) 17:48, 20 May 2008 (UTC)/CC BY-SA 3.0(トリミング) - MEMS-LSIモノリシック集積:「Microelectromechanical system (MEMS) ( )」 National Institute of Standards and Technology/パブリックドメイン
(トリミング) - 微細な
側壁を 壊さずに 測る :「Slantedblacksilicon」 Zhida Xu, Jing Jiang, Manas Ranjan Gartia, and Gang Logan Liu/CC BY-SA 4.0(トリミング) - ディープトレンチ垂直フォトダイオード:「Photodiode array chip」 Fulvio314/CC BY-SA 3.0(トリミング)
- マイクロラッチ機構:「MEMS-based compliant mechanism」 Agustin Herrera-May/CC BY-SA 4.0(トリミング)
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研究室 (田畑・松井・関研究室) :「Pulsed Laser Deposition in Action」 Adam Andersen Læssøe/CC BY-SA 4.0(トリミング) - 関連する
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研究室 (トープラサートポン研究室) :「Ferroelectric domains at a PZT grain boundary ( )」 Oak Ridge National Laboratory/CC BY 2.0(トリミング) - 関連する
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